science laboratory used CVD equipment for thin film research / CVD system

tube furnace

Casing

Double layer steel casing with air cooling.

Built in thermostat to control Cooling running automatically when case > 55C.

Processing Tube

Material: Fused quartz 

Power

2.5KW

Rated Voltage

AC 208-240V Single phase, 50/60Hz

Heating Element

Resistance wire

Working Temp.

Max. Heating Temp.: 1200CContinuous Working Temp.: 1100C

Heat-up Rate

Heat-up rate: 1~20C/min programmable

Heating Zone Length

Total heating zone: 440mmConstant Temp. Zone: 150mm 

Temp. Control

PID automatic control with 30 steps programmable segments.

Temperature accuracy: 1 C

Thermocouple: K type 

Vacuum Seal

One pair of stainless steel vacuum flange with:

one mechanical pressure gauge

two needle valves 

one KF-25 connector for the high vacuum station.

Power

100~110W

Rated Voltage

AC 208-240V Single Phase, 50/60Hz

High Vacuum Station

Structure

Mobile cart size: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mmMax. Loading: 600 Lbs on topVacuum sensor is included

Working Range

From 1000 mbar to <1E-7 mbar

Ultimate Pressure

<1E-8 mbar

Mass Flow Gas Control

Structure

3 channel MFC Made of 316 stainless steel with gas flow range as below:

Controller : 1~500SCCM

Different range of gas flow is available upon request 

3 Channel gas go through a Gas mixing tank: 80X120mm 

Dimension: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

Power

18W

Rated Voltage

AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz